標準簡介：本文件描述了用脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法測定顆粒硅中氫含量的方法。本文件適用于流化床法顆粒硅中氫含量的測定，其他硅材料參照使用。注： 本文件測定氫含量的范圍取決于所用氫分析儀的量程，最大測定范圍為氫量0.000 08 mg～2.5 mg。以質量分數(shù)（%）表示的氫分析儀的測定范圍因稱取樣品量的不同而不同。例如，1 g樣品最大測定范圍的質量分數(shù)為0.000 008%～0.25%；0.15 g樣品最大測定范圍的質量分數(shù)為0.000 06%～1.66%。

標準號：GB/T 40566-2021

標準名稱：流化床法顆粒硅 氫含量的測定 脈沖加熱惰性氣體熔融紅外吸收法

英文名稱：Granular polysilicon produced by fluidized bed method—Determination of hydrogen—Pulse heating inert gas fusion infrared absorption method

標準類型：國家標準

標準性質：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2021-10-11

實施日期：2022-05-01

中國標準分類號（CCS）：冶金>>半金屬與半導體材料>>H82元素半導體材料

國際標準分類號（ICS）：電氣工程>>29.045半導體材料

起草單位：無錫市產品質量監(jiān)督檢驗院、上海賽夫特半導體材料有限公司、青海黃河上游水電開發(fā)有限責任公司光伏產業(yè)技術分公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、新疆新特新能材料檢測中心有限公司、無錫市分析測試學會、中國電子技術標準化研究院、無錫市計量測試院等

歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC 203)

發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.

檢測流程

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