標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板（幾何量）的術(shù)語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、檢查條件、檢查方法、標(biāo)志、運輸及儲存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于線間隔為0.05 μm~10 μm的微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板、臺階高度為0.01 μm~100 μm的微納米臺階高度標(biāo)準(zhǔn)樣板、薄膜厚度為2 nm~1 000 nm的納米膜厚標(biāo)準(zhǔn)樣板和線寬為25 nm~1 000 nm的納米線寬標(biāo)準(zhǔn)樣板。

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 39516-2020

標(biāo)準(zhǔn)名稱：微納米標(biāo)準(zhǔn)樣板（幾何量）

英文名稱：Micro nano standard samples (geometric)

標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2020-11-19

實施日期：2021-06-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：機(jī)械>>工藝裝備>>J42量具與量儀

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：計量學(xué)和測量、物理現(xiàn)象>>長度和角度測量>>17.040.30測量儀器儀表

起草單位：中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所、成都工具研究所有限公司、廣西壯族自治區(qū)計量檢測研究院、中國計量科學(xué)研究院、上海市計量測試技術(shù)研究院、中國計量大學(xué)、珠海市怡信測量科技有限公司

歸口單位：全國量具量儀標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 132)

發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.

檢測流程

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