標準號：GB/T 24469-2009

標準名稱：電子工業(yè)用氣體 5N氯化氫

英文名稱：Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：2009-10-15

實施日期：2009-12-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：被GB/T 14602-2014代替

起草單位：北京華宇同方化工科技開發(fā)有限公司、光明化工研究設(shè)計院、信息產(chǎn)業(yè)部標準化四所

歸口單位：469-203 全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標準化技術(shù)委員會

發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.

檢測流程

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