標準簡介：本文件規(guī)定了電子級三氟化氮的技術(shù)要求、檢驗規(guī)則、試驗方法、標志、包裝、運輸貯存及安全信息的要求。本文件適用于以無水氟化氫與液氨為原料制備提純，或以氟化氫銨為原料制備提純得到的三氟化氮。

標準號：GB/T 21287-2021

標準名稱：電子特氣 三氟化氮

英文名稱：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

標準類型：國家標準

標準性質(zhì)：推薦性

標準狀態(tài)：現(xiàn)行

發(fā)布日期：2021-10-11

實施日期：2022-05-01

中國標準分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國際標準分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標準：替代GB/T 21287-2007

起草單位：昊華氣體有限公司、中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司、西南化工研究設(shè)計院有限公司、廣東華特氣體股份有限公司、天津綠菱氣體有限公司、福建久策氣體股份有限公司、海寧市英德賽電子有限公司、江西華特電子化學(xué)品有限公司、浙江省化工研究院有限公司等

歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)

發(fā)布單位：國家市場監(jiān)督管理總局.

檢測流程

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