標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 24577-2009熱解吸氣相色譜法測(cè)定硅片表面的有機(jī)污染物

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行

標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅片表面的有機(jī)污染物的定性和定量方法,采用氣質(zhì)聯(lián)用儀或磷選擇檢測(cè)器或者兩者同時(shí)采用。

英文名稱： Test methods for analyzing organic contaminants on silicon wafer surfaces by thermal desorption gas chromatography

中標(biāo)分類(lèi)： 冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合

ICS分類(lèi)： 電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料

采標(biāo)情況： MOD SEMI MF 1982-1103

發(fā)布部門(mén)： 中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

發(fā)布日期： 2009-10-30

實(shí)施日期： 2010-06-01

首發(fā)日期： 2009-10-30

提出單位： 全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)

檢測(cè)流程

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