標(biāo)準(zhǔn)簡介：本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用硅烷氣體的技術(shù)要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、包裝、標(biāo)志、運(yùn)輸、貯存和安全要求等。本標(biāo)準(zhǔn)主要用于電子工業(yè)中多晶硅和單晶硅外延淀積、二氧化硅的低溫化學(xué)汽相淀積、非晶硅薄膜淀積等。

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 15909-1995

標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用氣體 硅烷(SiH4)

英文名稱：Gas for electronic industry－Silane

標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)

標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性

標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：作廢

發(fā)布日期：1995-01-02

實(shí)施日期：1996-08-01

中國標(biāo)準(zhǔn)分類號（CCS）：化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體

國際標(biāo)準(zhǔn)分類號（ICS）：化工技術(shù)>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體

替代以下標(biāo)準(zhǔn)：被GB/T 15909-2009代替

起草單位：化工部西南化工研究院

歸口單位：全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會

發(fā)布單位：國家技術(shù)監(jiān)督局

檢測流程

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